介紹
擬合材料折射率需要透過透射、反射或膜厚等測試數據中的一種或多種。當測試數據精度相同時,數據越多,擬合結果越可靠。
可以針對基板或膜層材料進行擬合;若擬合膜層材料的折射率,通常需要已知基板折射率(也可先行擬合基板)。
多角度光度數據有助於折射率擬合的收斂。
適用範圍
本模組適用於膜層材料的折射率擬合。對於基板或厚透明層(k接近0),請使用Filmstar的Index模組,參見Filmstar說 明文件。
為配合工藝與產品特性,本模組允許通過設計合理的膜層結構組合並將部分層標為已知材料,以擬合未知層的折射率;但若條件允許,建議簡化結構以節省時間並提高準確度。

擬合流程
折射率擬合參考流程:
