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範例：折射率 n/k 擬合

折射率擬合範例​

本範例示範如何使用實測光譜資料，對材料折射率（n）與消光係數（k）進行擬合。主要流程如下：

  1. 匯入實測資料：載入透過率、反射率與膜厚資料。
  2. 設定初始值：為 n 與 k 設定合理的初始值。
  3. 執行擬合演算法：使用折射率擬合模組進行最佳化。
  4. 分析結果：比較擬合後光譜與實測光譜，評估結果品質。

提示：使用多角度光譜資料通常可提升擬合精度。

本範例以 SiNx（近透明、低吸收）材料為例，採單層模型進行擬合。

開啟折射率擬合增強版模組

Index Initial

匯入折射率擬合設定​

參見 從資料庫讀取設定到當前模組。

本範例匯入 ID 為 s0001、名稱為「單材料設定」的預設設定。匯入後介面如下：

With Setting

材料設定​

Material Config

膜層結構​

Design Structure

初始化 Filmstar​

功能模組內的 Filmstar 控制

匯入實測光譜資料​

詳細步驟參見 匯入光譜。

Index-Fit with load spectrum

生成光譜目標​

參見 光譜目標。

Generate spectrum target with load spectrum

設定擬合參數​

停止條件​

Fit-Option

執行擬合​

optimizing

檢視擬合結果​

history

one result

儲存擬合結果​

Index-Fit-fit-layer