膜厚反演 (Thickness Reverse)
“膜厚反演”是通过测量的光谱曲线，利用数学优化算法（LM 引擎）反向推算各层材料实际物理厚度的过程。它是实现“从结果找原因”的核心分析手段。
介绍
反演模块通过 ReverseUnitController 管理，将实测光谱与理论模型进行比对。
核心参数设置
- 光谱来源：指定从哪个光谱容器读取测量数据。
- 反演范围：
- 测量位置：指定参与计算的横向测量点。
- 波长范围：指定参与拟合的光谱区间（如 450nm - 650nm）。
- 优化引擎 (LM Engine)：
- 初始值：反演的起始厚度点（默认使用标准设计厚度）。
- 停止条件：达到最大迭代次数、评价函数（Merit）低于设定阈值或连续下降停滞。
- 评价函数 (Merit Function)：表示计算结果与实测光谱的偏移量，数值越小表示拟合越精准。
操作方法
- 进入反演面板：从主界面侧边栏打开“膜厚反演”。
- 导入光谱：确保“光谱容器”中已有最新的测量 R/T 曲线。
- 配置参数：
- 点击“反演设置”，检查参与拟合的层以及各层的波动范围上限（避免算出不切实际的厚度）。
- 设置“波长权重”，对产品敏感波段给予更高的拟合优先级。
- 启动反演：
- 点击 开始反演。
- 系统将展示 反演进度卡片，显示各点位的实时评价函数值和耗时。
- 审阅结果：
- 反演完成后，界面会自动更新“反演膜厚”曲线。
- 点击 查看反演记录，可对比拟合后的计算谱与原始测量谱的重合度。
- **确认结果合理后，点击 保存速率系数 将本次反演的速率系数存档。
注意事项
- 多方案选择：反演是“非齐次”问题，可能存在多个不同的厚度组合产生相似的光谱。建议结合工艺经验给受限层设置合理的波动边界。
- 精度依赖：反演精度极大程度取决于所选材料的光学常数（n, k）是否准确。如果材料模型偏移，反演出的厚度将带有系统误差。
- 发散处理：如果评价函数无法变小，请检查：
- 是否选错了材料（如将 Nb2O5 写成了 TiO2）。
- 测量光谱是否包含严重的噪声或硬件偏差。
- 若某位置残差超出设定 阈值（界面会标色警示），该位置的膜厚需谨慎参考，可能源于光谱质量问题或膜层结构异常。
- 反演完成后，务必在速率系数页面核对并保存，以供后续参数调整使用。